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製作実績
ＩＣＦフランジが付いた超高真空用ベローズ

ベローズ・フレキシブチューブなどを主に製作事例を掲載しております。ご覧ください。

ＩＣＦフランジが付いた超高真空用ベローズ

更新日：2012年12月12日

ＩＣＦ１１４フランジ付のベローズ　　バネ定数２８Ｎ/ｍｍ　　軸方向変位　+７ｍｍ/-１３ｍｍ　　

設計圧力　（内）真空　　（外）大気

ICFフランジ（コンフラットフランジ）
超高真空装置に最も多く使用されているフランジで、金属ガスケットを使用します。ガスケット溝にナイフエッジと呼ばれるエッジが立っておりエッジに傷がつくと真空シールを行うことができないので、取り扱いには注意が必要です。
ＪＩＳフランジと比べてボルト穴の数が多い（コンフラットフランジはVaridn社の商品名です）

寸法	ベローズ内径６０ｍｍ　　面間１２０Ｌ
板厚	０．２ｍｍ
材質	ベローズＳＵＳ３１６Ｌ　フランジＳＵＳ３０４Ｌ　　エルボ・パイプＳＵＳ３０４

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